반도체 사업의 필수원료인 초순수 생산기술 국산화가 본격적으로 추진될 전망이다.
환경부‧한국수자원공사‧한국환경산업기술원이 ‘고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발’ 사업에 착수한다.
'고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발'은 지난 2019년 일본의 수출규제에 대응하고자 추진됐다. 국산 기술을 활용해 반도체 공정 등에 사용되는 고순도 공업용수를 자체 생산하고 공급하는 것이 주된 목적이었다.
초순수(Ultra Pure Water)는 수백 개의 반도체 생산 단위공정 중에 발생하는 부산물‧오염물을 세정할 시 사용되는 필수 공업용수로, 초미세 회로로 구성된 반도체를 세척해야 하므로 총유기탄소량(TOC) 농도를 '10억분의 1(ppb)' 이하인 고순도로 유지해야 한다.
그동안 반도체 사용 용수의 약 50%를 차지하는 초순수 공업용수의 생산 및 공급은 일본 등 해외업체에 의존했다. 특히 공정설계‧초순수 배관‧수처리 약품 등을 일본에 의존해 수출규제와 같은 외부요소에 매우 취약했다.
이에 환경부는 올해부터 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화 장치(UV)와 용존산소 제거용 탈기막 국산화 기술개발을 시작했다.
아울러 한국수자원공사는 하루 2,400t의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 2025년까지 반도체 공급업체에 설치 및 운영할 예정이다. 초순수 생산 시설이 완료되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수 공정의 최대 60%가 국산화될 것으로 보인다.
한국수자원공사는 실증플랜트 구축을 위해 수요처와 협의 중이며, 실증플랜트 설치 대상지를 올해 안으로 확정할 계획이다.
김동진 환경부 수자원 정책관은 "고순도 공업용수는 반도체뿐 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다."면서, "이번 기술개발 사업이 차질 없이 이행되면 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것"이라고 강조했다.
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